Lista de parámetros técnicos de la máquina de recubrimiento óptico multicapa

Modelo

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Tamaño de la sala de recubrimiento

1050 * 1250304 Acero inoxidable.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

Tamaño de la cavidad recubierto

Soporte de accesorios desde el suelo 1680 mm, adecuado para la operación de la ingeniería humana.

Soporte de accesorio desde el suelo 1468 mm, adecuado para la operación de la ingeniería humana.

Soporte de accesorio del suelo 1510 mm, adecuado para la operación de la ingeniería humana.

1 pieza de trabajo de tipo arco, en mayor medida para satisfacer las necesidades de los clientes para la uniformidad. Girando 5-30R/min, cambio de velocidad sin pasos.

2 Arch Type Trese Piece Plate, la rotación del planeta, en mayor medida para satisfacer las necesidades de los clientes en la producción. Girando 5-30R/min, cambio de velocidad sin pasos.

Accesorio de herramientas

Para cuatro piezas, el ángulo del soporte es ajustable en mayor medida para satisfacer las necesidades del cliente. Girando 5-30R/min, cambio de velocidad sin pasos.

Piece de trabajo único de tipo arco, en mayor medida para satisfacer las necesidades de los clientes para la uniformidad. Girando 5-30R/min, cambio de velocidad sin pasos.

Piece de trabajo único de tipo arco, en mayor medida para satisfacer las necesidades de los clientes para la uniformidad. Girando 5-30R/min, cambio de velocidad sin pasos.

Sistema de vacío

Unidad: bomba de difusión DIP-12000 (Lai Bao), ZJY-300 2X-70 Bomba de raíces, bomba mecánica, mantenimiento de la bomba 2x-8. Tubería para 304 acero inoxidable.

Unidad: bomba de difusión KT-400 (Zhen Hua), ZJY-150 2x-70 Bomba de raíces, bomba mecánica, mantenimiento de la bomba 2x-8.

Unidad: bomba de difusión KT-600 (Zhen Hua), bomba de raíces ZJY-600 2X-70, bomba mecánica, mantenimiento de la bomba 2x-8.

Unidad: bomba de difusión KT-800 (Zhen Hua), bomba de raíces ZJY-600 2X-70, bomba mecánica, mantenimiento de la bomba 2x-8.

Ultimate Vacuum: mejor que 4 x PA 10-4.

Configuración de equipos anti turbulencia, diseño de enclavamiento de seguridad, manual, automático opcional.

sistema de calefacción

Tubería de calentamiento en el modo de calentamiento, control PID, el 350 C + 1.5 más alto.

Inflación de gas

Instrumento de control de flujo de masa de gas o manual de ajuste de ajuste fino válvula de carga.

Bombardeo de ionización por vacío

DC 3KV, Cátodo de la barra de 06kW (para recubrimiento antes de la autocución de la pieza de trabajo).

Fuente de evaporación (opcional)

1 pistola de electrones Telemark-270 (importación), 6kW, alta presión 4KV-10kV ajustable. Escaneo, escaneo, escaneo circular y escaneo espiral. El enfoque del punto de haz es bueno, la precisión del posicionamiento es alta y la reproducibilidad es buena.

2 pistola de electrones doméstico (Zhen Hua): 6kW, alta presión 4 kV ~ 8kV ajustable, puede elegir libremente onda triangular, onda sinusoidal, escaneo de onda cuadrada.

3: Seis agujeros Phi 38 * 20 o cuatro agujeros Phi 38 * 20 más un crisol de arco de arco central de 87 puntos (para una gran cantidad de materiales de evaporación de punto de fusión bajo) o cuatro puntos con 48 x 18 crisol.

Fuente de iones (opcional)

1 fuente de iones de RF (radiofrecuencia) (importación).

2 5KVA Holzer Fuente de iones (Zhen Huachan), utilizada para la electroplatación antes de la limpieza o el proceso de enchapado para ayudar al enchapado, es propicio para mejorar el índice de refracción de la película, la firmeza, mejorar la densidad de la película, la adhesión.

Sistema de control de espesor de película (selección)

1. El dispositivo de control de cristal MDC-360 (importado) puede almacenar 1 ~ 99 proceso de recubrimiento automático de capa, 99 tipos de datos del programa, precisión 0.5%+1 error fijo. Dispositivo de control de cristal 2Telemark-880 (importado): puede almacenar 1 a 99 capas de proceso de recubrimiento automático, 99 tipos de datos del programa. Precisión 0.5%+1 Error fijo.

3.Telemark-820 Photocontroller (importación): extremo del espectro completo utilizando una tecnología de análisis de longitud de onda múltiple, a través de la transmisión de monitoreo de 370-870 mm (o reflectancia) Análisis de curva para determinar el final de la película. La precisión de control es alta, y se puede usar el control de longitud de onda única, el control automático y el control manual. Software adicional de cálculo del sistema de membrana de Macileod, alto grado de integración.

4. Controlador de luz de TeleMark-820 con el controlador Telemark-880 puede cumplir con la película de cristal con alta precisión y altos requisitos de repetibilidad. Con la computadora host puede realizar un control automático.

5 fotocontrolador doméstico (como el tipo 9704 que soporta la longitud de onda del monocromador 330 ~ 870, etc.) Ajustable, la precisión puede alcanzar 1.5 nm.

Dispositivo operado a mano

Con base magnética, se puede colocar en la puerta de la cámara de vacío y la posición arbitraria del gabinete de control.