Lista parametrów technicznych wielowarstwowego optycznego maszyny

Model

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Rozmiar powłoki

1050 * 1250304 Stal nierdzewna.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

Powlekany rozmiar wnęki

Wsparcie urządzenia z ziemi 1680 mm, odpowiednie do działania inżynierii ludzkiej.

Wsparcie urządzenia z ziemi 1468 mm, odpowiednie do działania inżynierii ludzkiej.

Wsparcie urządzenia z ziemi 1510 mm, odpowiednie do działania inżynierii ludzkiej.

1 element pojedynczy roboczy typu Arch, w większym stopniu, aby zaspokoić potrzeby klientów w zakresie jednolitości. Obracający się 5-30R/min, znaczna zmiana prędkości.

2 Płyta obrabiana typu Arch Three, rotacja planety, w większym stopniu, aby zaspokoić potrzeby klientów w produkcji. Obracający się 5-30R/min, znaczna zmiana prędkości.

Oprawa narzędzi

W przypadku czterech utworów kąt wspornika jest regulowany w większym stopniu, aby sprostać jednolitościom potrzeb klientów. Obracający się 5-30R/min, znaczna zmiana prędkości.

Jeden utwór typu Arch, w większym stopniu, aby zaspokoić potrzeby klientów w zakresie jednorodności. Obracający się 5-30R/min, znaczna zmiana prędkości.

Jeden utwór typu Arch, w większym stopniu, aby zaspokoić potrzeby klientów w zakresie jednorodności. Obracający się 5-30R/min, znaczna zmiana prędkości.

system próżniowy

Jednostka: pompa dyfuzyjna DIP-12000 (Lai Bao), ZJY-300 2x-70 Roots Pompa, pompa mechaniczna, konserwacja pompy 2x-8. Rura na 304 stali nierdzewnej.

Jednostka: pompa dyfuzyjna KT-400 (Zhen HUA), ZJY-150 2x-70 Roots Pompa, pompa mechaniczna, konserwacja pomp 2x-8.

Jednostka: pompa dyfuzyjna KT-600 (Zhen HUA), ZJY-600 2x-70 Roots Pompa, pompa mechaniczna, konserwacja pomp 2x-8.

Jednostka: pompa dyfuzyjna KT-800 (Zhen HUA), ZJY-600 2x-70 Roots Pompa, pompa mechaniczna, konserwacja pomp 2x-8.

Ultimate Vacuum: Lepsze niż 4 x PA 10-4.

Konfiguracja sprzętu przeciw turbulencjom, projektowanie blokad bezpieczeństwa, ręczne, automatyczne opcjonalne.

System grzewczy

Rura grzewcza w trybie grzewczym, kontrola PID, najwyższa 350 C + 1,5.

Inflacja gazu

Instrument kontroli przepływu masy gazowej lub ręczne zawór ładowania drobnej regulacji.

Bombardowanie jonizacji próżniowej

DC 3KV, katoda pręta 06kW (do powlekania przed samokontrolą obrabia).

Źródło parowania (opcjonalnie)

1 Telemark-270 Pistolet elektronowy (import), 6 kW, wysokie ciśnienie 4KV-10KV regulowane. Skanowanie, skanowanie, skanowanie okrągłe i skanowanie spiralne. Koncentracja plamki wiązki jest dobra, dokładność pozycjonowania jest wysoka, a odtwarzalność jest dobra.

2 domowy pistolet elektronowy (Zhen Hua): 6 kW, pod wysokim ciśnieniem 4 kV ~ 8 kV regulowanym, może swobodnie wybierać fala trójkąta, fala sinusoidalna, skanowanie fali kwadratowej.

3: Sześć dziury tygla Phi 38 * 20 lub czterech dziury tyrczyków Phi 38 * 20 Plus 87 -punktowy łuk łukowy łukowy (dla dużej ilości materiałów odparowywania o niskiej temperaturze topnienia) lub cztery punkty z 48 x 18 tyglu.

Źródło jonów (opcjonalnie)

1 źródło jonów (częstotliwość radiowa) (import).

2 5KVA Holzer Ion Źródło (Zhen Huachan), stosowane do galwanizacji przed czyszczeniem lub procesem poszycia w celu wspomagania poszycia, sprzyja poprawie współczynnika załamania folii, twardości, poprawy gęstości filmu, adhezji.

System kontroli grubości grubości filmu (selekcja)

1.MDC-360 Urządzenie do sterowania kryształami (importowane) może przechowywać 1 ~ 99 warstwowy proces powlekania automatycznego, 99 rodzajów danych programu, precyzja 0,5%+1 stały błąd. 2telemark-880 Crystal Control Urządzenie (importowane): może przechowywać 1 do 99 warstw procesu automatycznego powlekania, 99 rodzajów danych programu. Precyzja 0,5%+1 stały błąd.

3.Telemark-820 PhotoController (import): Pełny widmo koniec przy użyciu technologii analizy wieloskładników fal, poprzez transmisję analizy krzywej monitorowania 370-870 mm (lub odbicia) w celu ustalenia końca filmu. Precyzja sterowania jest wysoka i można zastosować kontrolę automatyczną i kontrolę ręczną. Dodatkowe oprogramowanie do obliczania systemu membranowego macileod, wysoki stopień integracji.

4. Kontroler światła TELEMARK-820 z kontrolerem telemark-880 może spełniać folię kryształową o wysokiej dokładności i wymaganiach o wysokiej powtarzalności. Z komputerem hosta może zrealizować automatyczną kontrolę.

5 krajowy fotokontroller (taki jak typ 9704 obsługujący długość fali monochromatora 330 ~ 870 itd.) Regulowana, precyzja może osiągnąć 1,5 nm.

Ręcznie obsługiwane urządzenie

Z podstawą magnetyczną można umieścić w komorze próżniowej i dowolnej pozycji szafki kontrolnej.