Lista de parâmetros técnicos da máquina de revestimento óptico multicamada

Modelo

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Tamanho da sala de revestimento

1050 * 1250304 Aço inoxidável.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

Tamanho da cavidade revestida

Suporte de fixação do solo de 1680 mm, adequado para a operação da engenharia humana.

Suporte de fixação do solo 1468mm, adequado para a operação da engenharia humana.

Suporte de fixação do solo 1510mm, adequado para a operação da engenharia humana.

1 Peça de trabalho única do tipo Arch, em maior medida para atender às necessidades dos clientes para obter uniformidade. Girando 5-30r/min, mudança de velocidade de robalo.

2 ARCH Tipo três placa de peça de trabalho, a rotação do planeta, em maior medida para atender às necessidades dos clientes na produção. Girando 5-30r/min, mudança de velocidade de robalo.

Acessório de ferramentas

Para quatro peças, o ângulo do suporte é ajustável em maior medida para atender ao cliente precisa de uniformidade. Girando 5-30r/min, mudança de velocidade de robalo.

A peça de trabalho única do tipo de arco, em maior medida para atender às necessidades dos clientes para obter uniformidade. Girando 5-30r/min, mudança de velocidade de robalo.

A peça de trabalho única do tipo de arco, em maior medida para atender às necessidades dos clientes para obter uniformidade. Girando 5-30r/min, mudança de velocidade de robalo.

sistema de vácuo

Unidade: Bomba de difusão DIP-2000 (LAI BAO), ZJY-300 2X-70 BOMBRA ROOTS, BOMBA MECÂNICA, MANUTENÇÃO DE BOMBA 2X-8. Tubo para 304 aço inoxidável.

Unidade: Bomba de difusão KT-400 (Zhen Hua), ZJY-150 2X-70 Bomba de raízes, bomba mecânica, manutenção da bomba 2x-8.

Unidade: Bomba de difusão KT-600 (Zhen Hua), ZJY-600 2X-70 Bomba de raízes, bomba mecânica, manutenção da bomba 2x-8.

Unidade: Bomba de difusão KT-800 (Zhen Hua), ZJY-600 2X-70 Bomba de raízes, bomba mecânica, manutenção da bomba 2x-8.

Ultimate Vacuum: Melhor que 4 x PA 10-4.

Configuração do equipamento anti -turbulência, design de intertravamento de segurança, manual, opcional automático.

aquecedor

Tubo de aquecimento no modo de aquecimento, controle PID, o mais alto 350 C + 1,5.

Inflação de gás

Instrumento de controle de fluxo de massa de massa gás ou válvula de carregamento de ajuste fino manual.

Bombardeio de ionização a vácuo

CC 3KV, 06kW Rod cátodo (para revestimento antes da limpeza da peça de trabalho).

Fonte de evaporação (opcional)

1 TELEMARK-270 PISTÃO DE elétrons (importação), 6kW, alta pressão 4KV-10kV ajustável. Digitalização, varredura, varredura circular e varredura em espiral. O foco do ponto do feixe é bom, a precisão do posicionamento é alta e a reprodutibilidade é boa.

2 Pistola de elétrons domésticos (Zhen Hua): 6kW, alta pressão 4 kV ~ 8kV ajustável, pode escolher livremente onda de triângulo, onda senoidal, varredura de onda quadrada.

3: Phi cadinho de seis orifícios Phi 38 * 20 ou quatro orifícios Phi 38 * 20 mais um centeno de 87 pontos é cadinho (para uma grande quantidade de materiais de evaporação de ponto de fusão baixo) ou quatro pontos com 48 x 18 Crucol.

Fonte de íons (opcional)

1 RF (fonte de íons de radiofrequência) (importação).

2 5KVA Holzer Ion Source (Zhen Huachan), usada para eletroplicar antes de limpar ou revestir o processo para ajudar o revestimento, é propício para melhorar o índice de refração do filme, firmeza, melhorar a densidade do filme, adesão.

Sistema de controle de espessura do filme (seleção)

1.MDC-360 O dispositivo de controle de cristal (importado) pode armazenar 1 ~ 99 Processo de revestimento automático de camadas, 99 tipos de dados do programa, precisão 0,5%+1 erro fixo. 2TELEMARK-880 Dispositivo de controle de cristal (importado): pode armazenar 1 a 99 camadas de processo de revestimento automático, 99 tipos de dados do programa. Precisão 0,5%+1 erro fixo.

3.TELEMARK-820 FOTOCONTROLLER (IMPORTA): Fim do espectro completo usando uma tecnologia de análise de comprimento de onda múltipla, através da transmissão do monitoramento de 370-870 mm (ou refletância) análise para determinar o final do filme. A precisão do controle é alta e o controle de comprimento de onda única, controle automático e controle manual podem ser usados. Software adicional de cálculo do sistema de membrana Macileod, alto grau de integração.

4.TELEMARK-820 Controlador de luz com o controlador Telemark-880 pode atender ao filme de cristal com alta precisão e requisitos de alta repetibilidade. Com o computador host pode realizar o controle automático.

5 fotocontrolador doméstico (como o tipo 9704 de suporte ao comprimento de onda monocromador 330 ~ 870 etc.) Ajustável, a precisão pode atingir 1,5 nm.

Dispositivo operado à mão

Com base magnética, pode ser colocada na porta da câmara de vácuo e na posição arbitrária do armário de controle.