รายการพารามิเตอร์ทางเทคนิคของเครื่องเคลือบออปติคัลหลายชั้น

แบบอย่าง

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

ขนาดห้องเคลือบ

1050 * 1250304 สแตนเลส

800 * 1,000

900 * 1050

1200 * 1250

ขนาดโพรงเคลือบ

การสนับสนุนการติดตั้งจากพื้นดิน 1680 มม. เหมาะสำหรับการทำงานของวิศวกรรมมนุษย์

การสนับสนุนการติดตั้งจากพื้นดิน 1468 มม. เหมาะสำหรับการทำงานของวิศวกรรมมนุษย์

การสนับสนุนการติดตั้งจากพื้นดิน 1510 มม. เหมาะสำหรับการทำงานของวิศวกรรมมนุษย์

1 ชิ้นงานชิ้นเดียวที่ทำงานเดี่ยวในระดับที่มากขึ้นเพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้าเพื่อความสม่ำเสมอ หมุน 5-30R/นาทีการเปลี่ยนแปลงความเร็วของ Stepless

2 ประเภทแผ่นงานสามแผ่นงานการหมุนของโลกในระดับที่มากขึ้นเพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้าในการผลิต หมุน 5-30R/นาทีการเปลี่ยนแปลงความเร็วของ Stepless

อุปกรณ์ติดตั้งเครื่องมือ

สำหรับสี่ชิ้นมุมยึดสามารถปรับได้ในระดับที่มากขึ้นเพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้าที่สม่ำเสมอ หมุน 5-30R/นาทีการเปลี่ยนแปลงความเร็วของ Stepless

ประเภทงานชิ้นเดียวที่ทำงานเดี่ยวในระดับที่มากขึ้นเพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้าเพื่อความสม่ำเสมอ หมุน 5-30R/นาทีการเปลี่ยนแปลงความเร็วของ Stepless

ประเภทงานชิ้นเดียวที่ทำงานเดี่ยวในระดับที่มากขึ้นเพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้าเพื่อความสม่ำเสมอ หมุน 5-30R/นาทีการเปลี่ยนแปลงความเร็วของ Stepless

ระบบสูญญากาศ

หน่วย: ปั๊มการแพร่กระจาย DIP-12000 (Lai Bao), ZJY-300 2X-70 Roots Pump, ปั๊มเครื่องจักรกลการบำรุงรักษาปั๊ม 2x-8 ท่อสำหรับ 304 สแตนเลส

หน่วย: ปั๊มการแพร่กระจาย KT-400 (Zhen Hua), ZJY-150 2X-70 Roots Pump, ปั๊มเครื่องจักรกลการบำรุงรักษาปั๊ม 2x-8

หน่วย: ปั๊มการแพร่กระจาย KT-600 (Zhen Hua), ZJY-600 2x-70 Roots Pump, ปั๊มเครื่องจักรกลการบำรุงรักษาปั๊ม 2x-8

หน่วย: ปั๊มการแพร่กระจาย KT-800 (Zhen Hua), ZJY-600 2x-70 Roots Pump, ปั๊มเครื่องจักรกลการบำรุงรักษาปั๊ม 2x-8

สุญญากาศที่ดีที่สุด: ดีกว่า 4 x PA 10-4

การกำหนดค่าอุปกรณ์ป้องกันความปั่นป่วนการออกแบบการเชื่อมต่อความปลอดภัยคู่มือการเลือกอัตโนมัติ

ระบบทำความร้อน

ท่อทำความร้อนในโหมดทำความร้อน, การควบคุม PID, สูงสุด 350 C + 1.5

อัตราเงินเฟ้อของก๊าซ

เครื่องมือควบคุมการไหลของมวลก๊าซหรือวาล์วชาร์จการปรับค่าปรับด้วยตนเอง

การทิ้งระเบิดไอออนไนซ์สูญญากาศ

DC 3KV, 06kW Rod Cathode (สำหรับการเคลือบผิวก่อนการทำความสะอาดด้วยตนเองของชิ้นงาน)

แหล่งที่มาของการระเหย (ไม่บังคับ)

1 TELEMARK-270 ปืนอิเล็กตรอน (นำเข้า), 6kW, ปรับแรงดันสูง 4KV-10kV สูง การสแกนการสแกนการสแกนแบบวงกลมและการสแกนเกลียว จุดเน้นของจุดคานดีความแม่นยำในการวางตำแหน่งสูงและความสามารถในการทำซ้ำได้ดี

2 ปืนอิเล็กตรอนในประเทศ (Zhen Hua): 6kW, แรงดันสูง 4 kV ~ 8kV ปรับได้สามารถเลือกคลื่นสามเหลี่ยมได้อย่างอิสระคลื่นไซน์คลื่นสแกนสแควร์

3: หกหลุมเบ้าหลอม phi 38 * 20 หรือสี่หลุมเบ้าหลอม phi 38 * 20 บวก 87 จุดส่วนโค้งส่วนโค้งส่วนโค้งเบ้าหลอม (สำหรับวัสดุระเหยจุดหลอมเหลวต่ำจำนวนมาก) หรือสี่จุดที่มี 48 x 18 เบ้าหลอม

แหล่งไอออน (ไม่บังคับ)

1 RF (ความถี่วิทยุ) แหล่งไอออน (นำเข้า)

2 5KVA HOLZER ION แหล่งที่มา (Zhen Huachan) ใช้สำหรับการชุบด้วยไฟฟ้าก่อนที่จะทำความสะอาดหรือชุบกระบวนการเพื่อช่วยชุบมีความเอื้อต่อการปรับปรุงดัชนีการหักเหของฟิล์มความแน่นดีปรับปรุงความหนาแน่นของฟิล์ม

ระบบควบคุมความหนาของฟิล์ม (การเลือก)

1.MDC-360 อุปกรณ์ควบคุมคริสตัล (นำเข้า) สามารถจัดเก็บกระบวนการเคลือบอัตโนมัติ 1 ~ 99 ชั้นข้อมูลโปรแกรม 99 ชนิดความแม่นยำ 0.5%+1 ข้อผิดพลาดคงที่ อุปกรณ์ควบคุมคริสตัล 2TeleMark-880 (นำเข้า): สามารถจัดเก็บกระบวนการเคลือบอัตโนมัติ 1 ถึง 99 ชั้นข้อมูลโปรแกรม 99 ชนิด ความแม่นยำ 0.5%+1 ข้อผิดพลาดคงที่

3.Telemark-820 Photocontroller (นำเข้า): Full Spectrum End โดยใช้เทคโนโลยีการวิเคราะห์ความยาวคลื่นหลายครั้งผ่านการส่งการตรวจสอบเส้นโค้ง 370-870 มม. (หรือการสะท้อนกลับ) เพื่อกำหนดจุดสิ้นสุดของภาพยนตร์ ความแม่นยำในการควบคุมนั้นสูงและการควบคุมความยาวคลื่นเดียวสามารถใช้การควบคุมอัตโนมัติและการควบคุมด้วยตนเองได้ ซอฟต์แวร์การคำนวณระบบเมมเบรน Macileod เพิ่มเติมระดับสูงของการรวม

4. TELEMARK-820 คอนโทรลเลอร์แสงพร้อมคอนโทรลเลอร์ TELEMARK-880 สามารถตอบสนองฟิล์มคริสตัลที่มีความแม่นยำสูงและข้อกำหนดการทำซ้ำสูง ด้วยคอมพิวเตอร์โฮสต์สามารถตระหนักถึงการควบคุมอัตโนมัติ

5 photocontroller ในประเทศ (เช่นประเภท 9704 รองรับความยาวคลื่น monochromator 330 ~ 870 ฯลฯ ) ปรับได้ความแม่นยำสามารถเข้าถึงได้ 1.5nm

อุปกรณ์ที่ใช้มือ

ด้วยฐานแม่เหล็กสามารถวางไว้ในประตูห้องสูญญากาศและตำแหน่งตู้ควบคุมโดยพลการ